Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание  термопреобраз

Атажанов Ш. Р.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Атажанов Ш. Р.
dc.coverage.spatial	диэлектрики
dc.coverage.spatial	выращивание тонких пленок
dc.coverage.spatial	газотранспортный метод
dc.coverage.spatial	гетероэпитаксиальное выращивание
dc.coverage.spatial	диссертации
dc.coverage.spatial	твердофазные источники
dc.coverage.spatial	термопреобразователи
dc.coverage.spatial	труды ученых СамГУ
dc.coverage.spatial	пленки
dc.coverage.spatial	Физика
dc.creator	Атажанов Ш. Р.
dc.date	1997
dc.date.accessioned	2025-08-27T05:09:21Z	-
dc.date.available	2025-08-27T05:09:21Z	-
dc.date.issued	1997
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\348162
dc.identifier.citation	Атажанов, Ш. Р. Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразователей на их основе [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. физ-мат. наук : 01.04.10 / Атажанов Шавкат Ражабович ; [Самар. гос. ун-т]. - Самара, 1997. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18814	-
dc.language	rus
dc.relation.isformatof	Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание тер
dc.subject	диэлектрики
dc.subject	выращивание тонких пленок
dc.subject	газотранспортный метод
dc.subject	гетероэпитаксиальное выращивание
dc.subject	диссертации
dc.subject	твердофазные источники
dc.subject	термопреобразователи
dc.subject	труды ученых СамГУ
dc.subject	пленки
dc.subject	Физика
dc.subject.rubbk	В379
dc.title	Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобраз
dc.type	Text
local.contributor.author	Атажанов Ш. Р.
local.contributor.author	Самарский государственный университет
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Avtoreferaty/Issledovanie-geteroepitaksialnogo-vyrashivaniya-plenok-3SSiC-na-kremnii-iz-tverdofaznyh-istochnikov-himicheskim-gazotransportnym-metodom-i-sozdanie-term-66733
Appears in Collections:	Авторефераты

Files in This Item:

File	Size	Format
Атажанов Ш.Р. Исследование.pdf	559.02 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record