1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 03. Авторефераты и диссертации
  3. Диссертации (Закрыто)
Title: Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобраз
Authors: Атажанов Ш. Р.
Keywords: выращивание тонких пленок
газотранспортный метод
гетероэпитаксиальное выращивание
диссертации
диэлектрики
Физика
пленки
термопреобразователи
твердофазные источники
труды ученых СамГУ
Issue Date: 1997
Citation: Атажанов, Ш. Р. Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразователей на их основе [Электронный ресурс] : дис. ... канд. физ-мат. наук : 01.04.10 / Атажанов Шавкат Ражабович ; Самар. гос. ун-т. - Самара, 1997. - on-line
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18619
Appears in Collections:Диссертации (Закрыто)

Files in This Item:
File SizeFormat 
Атажанов Ш.Р. Исследование.pdf3.8 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.