1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 03. Авторефераты и диссертации
  3. Диссертации (Закрыто)
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАтажанов Ш. Р.
dc.coverage.spatialвыращивание тонких пленок
dc.coverage.spatialгазотранспортный метод
dc.coverage.spatialгетероэпитаксиальное выращивание
dc.coverage.spatialдиссертации
dc.coverage.spatialдиэлектрики
dc.coverage.spatialФизика
dc.coverage.spatialпленки
dc.coverage.spatialтермопреобразователи
dc.coverage.spatialтвердофазные источники
dc.coverage.spatialтруды ученых СамГУ
dc.creatorАтажанов Ш. Р.
dc.date1997
dc.date.accessioned2025-08-27T05:08:56Z-
dc.date.available2025-08-27T05:08:56Z-
dc.date.issued1997
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\348160
dc.identifier.citationАтажанов, Ш. Р. Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразователей на их основе [Электронный ресурс] : дис. ... канд. физ-мат. наук : 01.04.10 / Атажанов Шавкат Ражабович ; Самар. гос. ун-т. - Самара, 1997. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18619-
dc.languagerus
dc.relation.isformatofИсследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание тер
dc.subjectвыращивание тонких пленок
dc.subjectгазотранспортный метод
dc.subjectгетероэпитаксиальное выращивание
dc.subjectдиссертации
dc.subjectдиэлектрики
dc.subjectФизика
dc.subjectпленки
dc.subjectтермопреобразователи
dc.subjectтвердофазные источники
dc.subjectтруды ученых СамГУ
dc.subject.rubbkВ379
dc.titleИсследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобраз
dc.typeText
local.contributor.authorАтажанов Ш. Р.
local.contributor.authorСамарский государственный университет
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Dissertacii-Zakryto/Issledovanie-geteroepitaksialnogo-vyrashivaniya-plenok-3SSiC-na-kremnii-iz-tverdofaznyh-istochnikov-himicheskim-gazotransportnym-metodom-i-sozdanie-term-70025
Appears in Collections:Диссертации (Закрыто)

Files in This Item:
File SizeFormat 
Атажанов Ш.Р. Исследование.pdf3.8 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.