1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 02. Монографии и сборники научных трудов
  3. Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники
Title: Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины
Authors: Матюнин, С.А.
Барынкин, В.В.
Issue Date: 2001
Publisher: СГАУ
Citation: Матюнин, С. А. Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины / С. А. Матюнин, В. В. Барынкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т; [под общ. ред. Ю. Ф. Широкова]. – Самара : СГАУ, 2001. – Вып. 6. – С. 73-77.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/16365
Appears in Collections:Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
apr_2001_6_17.pdfОсновная статья2.1 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.