Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины

Матюнин, С.А.; Барынкин, В.В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Матюнин, С.А.
dc.contributor.author	Барынкин, В.В.
dc.date	2001
dc.date.accessioned	2025-08-27T04:48:36Z	-
dc.date.available	2025-08-27T04:48:36Z	-
dc.date.issued	2001
dc.identifier.identifier	Dspace\SGAU\20170918\65333
dc.identifier.citation	Матюнин, С. А. Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины / С. А. Матюнин, В. В. Барынкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т; [под общ. ред. Ю. Ф. Широкова]. – Самара : СГАУ, 2001. – Вып. 6. – С. 73-77.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/16365	-
dc.language	rus
dc.publisher	СГАУ
dc.title	Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины
dc.type	Article
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Tehnologicheskie-osobennosti-termicheskogo-osazhdeniya-dielektricheskih-plenok-peremennoi-tolshiny-65333
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Tehnologicheskie-osobennosti-termicheskogo-osazhdeniya-dielektricheskih-plenok-peremennoi-tolshiny-65333
Appears in Collections:	Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
apr_2001_6_17.pdf	Основная статья	2.1 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

Samara University Repository

Welcome!