Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии |
| Authors: | Сидоров Ф. А. Рогожин А. Е. |
| Keywords: | метод Монте-Карло микроскопический алгоритм математическое моделирование полиметилметакрилат модель дискретных потерь энергии модель идеальной цепи электронно-лучевая литография |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Сидоров, Ф. А. Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии / Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 412-418 |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/13076 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| ИТНТ-2020_том 1-412-418.pdf | 459.71 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.