1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Title: Процесс образования пор на текстурированной подложке кремния при электрохимическом травлении: 3D-модель
Authors: Шишкин И. А.
Лизункова Д. А.
Латухина Н. В.
Keywords: 3D-модели
кремниевые подложки
пористый слой
процесс порообразования
моделирование
электрохимическое травление
экспериментальные исследования
Issue Date: 2020
Citation: Шишкин, И. А. Процесс образования пор на текстурированной подложке кремния при электрохимическом травлении: 3D-модель / И. А. Шишкин, Д. А. Лизункова, Н. В. Латухина // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 27-30
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/13007
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
ИТНТ-2020_том 1-27-30.pdf322.84 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.