1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШишкин И. А.
dc.contributor.authorЛизункова Д. А.
dc.contributor.authorЛатухина Н. В.
dc.coverage.spatial3D-модели
dc.coverage.spatialкремниевые подложки
dc.coverage.spatialпористый слой
dc.coverage.spatialпроцесс порообразования
dc.coverage.spatialмоделирование
dc.coverage.spatialэлектрохимическое травление
dc.coverage.spatialэкспериментальные исследования
dc.creatorШишкин И. А., Лизункова Д. А., Латухина Н. В.
dc.date2020
dc.date.accessioned2025-08-22T12:18:11Z-
dc.date.available2025-08-22T12:18:11Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\441388
dc.identifier.citationШишкин, И. А. Процесс образования пор на текстурированной подложке кремния при электрохимическом травлении: 3D-модель / И. А. Шишкин, Д. А. Лизункова, Н. В. Латухина // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 27-30
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/13007-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника
dc.subject3D-модели
dc.subjectкремниевые подложки
dc.subjectпористый слой
dc.subjectпроцесс порообразования
dc.subjectмоделирование
dc.subjectэлектрохимическое травление
dc.subjectэкспериментальные исследования
dc.titleПроцесс образования пор на текстурированной подложке кремния при электрохимическом травлении: 3D-модель
dc.typeText
dc.citation.epage30
dc.citation.spage27
dc.citation.volume1
local.contributor.authorШишкин И. А.
local.contributor.authorЛизункова Д. А.
local.contributor.authorЛатухина Н. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Process-obrazovaniya-por-na-teksturirovannoi-podlozhke-kremniya-pri-elektrohimicheskom-travlenii-3Dmodel-85115
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Process-obrazovaniya-por-na-teksturirovannoi-podlozhke-kremniya-pri-elektrohimicheskom-travlenii-3Dmodel-85115
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
ИТНТ-2020_том 1-27-30.pdf322.84 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.