Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Моделирование процесса формирования синусоидальных голографических решеток методом термостимулированной электронно-лучевой литографии |
| Authors: | Сидоров Ф. А. Рогожин А. Е. |
| Keywords: | синусоидальные голографические решетки термическая деполимеризация термостимулированная электронно-лучевая литография |
| Issue Date: | 2023 |
| Citation: | Сидоров, Ф. А. Моделирование процесса формирования синусоидальных голографических решеток методом термостимулированной электронно-лучевой литографии / Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - Фил. Федер. науч.-исслед. центра "Кристаллография и фотоника" Рос. акад. наук. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2023. - С. 013262. |
| Abstract: | В данной работе описывается применение метода термостимулированной электронно-лучевой литографии для получения синусоидальныхголографических решеток в полимерном резисте, а также приводятся результаты моделирования результирующей формы профиля решеток при различных параметрах экспонирования. На примере моделирования линий, получаемых данным методом в ПММА установлено, что при правильном подборе параметров экспонирования форма результирующего профиля с высокой точностью является синусоидальной. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12783 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-1917-9_2023-013262.pdf | 554.74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.