Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов |
| Authors: | Фомченков, С.А. Полетаев, С.Д. |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Новая техника |
| Citation: | Фомченков С.А. Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов / С.А. Фомченков, С.Д. Полетаев // Сборник трудов III международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2017) - Самара: Новая техника, 2017. - С. 282-284. |
| Abstract: | Исследован процесс магнетронного напыления диэлектрических пленок оксида цинка ZnO с помощью установки магнетронного распыления с постоянным источником тока «Caroline D12A», модернизированной с целью возможности распыления диэлектрических мишеней. Показано, что данный способ напыления диэлектрических пленок позволяет получать качественные покрытия и слои, соответствующие требованиям для создания многослойных дифракционных оптических элементов. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12522 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| paper 58_282-284.pdf | Основная статья. Раздел: Компьютерная оптика и нанофотоника | 628.28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.