Samara University Repository
Welcome!
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Фомченков, С.А. | |
| dc.contributor.author | Полетаев, С.Д. | |
| dc.date | 2017 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:18:03Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:18:03Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.identifier | Dspace\SGAU\20170510\63663 | |
| dc.identifier.citation | Фомченков С.А. Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов / С.А. Фомченков, С.Д. Полетаев // Сборник трудов III международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2017) - Самара: Новая техника, 2017. - С. 282-284. | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12522 | - |
| dc.description.abstract | Исследован процесс магнетронного напыления диэлектрических пленок оксида цинка ZnO с помощью установки магнетронного распыления с постоянным источником тока «Caroline D12A», модернизированной с целью возможности распыления диэлектрических мишеней. Показано, что данный способ напыления диэлектрических пленок позволяет получать качественные покрытия и слои, соответствующие требованиям для создания многослойных дифракционных оптических элементов. | |
| dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № 16-29-11744. | |
| dc.language | rus | |
| dc.publisher | Новая техника | |
| dc.title | Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов | |
| dc.type | Article | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-i-issledovanie-sposoba-napyleniya-tonkih-dielektricheskih-plenok-dlya-sozdaniya-mnogosloinyh-difrakcionnyh-opticheskih-elementov-63663 | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-i-issledovanie-sposoba-napyleniya-tonkih-dielektricheskih-plenok-dlya-sozdaniya-mnogosloinyh-difrakcionnyh-opticheskih-elementov-63663 | |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| paper 58_282-284.pdf | Основная статья. Раздел: Компьютерная оптика и нанофотоника | 628.28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.