Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Информационные технологии и нанотехнологии

Title:	Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток
Authors:	Куц Р. И. Корольков В. П. Саметов А. Р. Черкашин В. В. Голубцов С. К.
Keywords:	дифракционные оптические элементы дифракционные структуры искажение топологических элементов ошибки топологии скрещенные дифракционные решетки прямая лазерная запись технологические параметры термохимическое окисление тонкие пленки металлов
Issue Date:	2022
Citation:	Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток / Р. И. Куц, В. П. Корольков, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2022. - С. 012852.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12230
Appears in Collections:	Информационные технологии и нанотехнологии

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.