1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКуц Р. И.
dc.contributor.authorКорольков В. П.
dc.contributor.authorСаметов А. Р.
dc.contributor.authorЧеркашин В. В.
dc.contributor.authorГолубцов С. К.
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы
dc.coverage.spatialдифракционные структуры
dc.coverage.spatialискажение топологических элементов
dc.coverage.spatialошибки топологии
dc.coverage.spatialскрещенные дифракционные решетки
dc.coverage.spatialпрямая лазерная запись
dc.coverage.spatialтехнологические параметры
dc.coverage.spatialтермохимическое окисление
dc.coverage.spatialтонкие пленки металлов
dc.creatorКуц Р. И., Корольков В. П., Саметов А. Р., Черкашин В. В., Голубцов С. К.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-08-22T12:19:06Z-
dc.date.available2025-08-22T12:19:06Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\491268
dc.identifier.citationИсследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток / Р. И. Куц, В. П. Корольков, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2022. - С. 012852.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12230-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. -
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника
dc.subjectдифракционные оптические элементы
dc.subjectдифракционные структуры
dc.subjectискажение топологических элементов
dc.subjectошибки топологии
dc.subjectскрещенные дифракционные решетки
dc.subjectпрямая лазерная запись
dc.subjectтехнологические параметры
dc.subjectтермохимическое окисление
dc.subjectтонкие пленки металлов
dc.titleИсследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток
dc.typeText
dc.citation.spage012852
dc.citation.volume1
local.contributor.authorКуц Р. И.
local.contributor.authorКорольков В. П.
local.contributor.authorСаметов А. Р.
local.contributor.authorЧеркашин В. В.
local.contributor.authorГолубцов С. К.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Issledovanie-oshibok-termohimicheskoi-lazernoi-zapisi-skreshennyh-difrakcionnyh-reshetok-100090
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-1789-2_2022-012852.pdf977.69 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.