| Title: | Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах |
| Authors: | Гончаров Е. В. Саенко А. В. Малюков С. П. Палий А. В. |
| Keywords: | тонкие электропроводящие пленки удельное сопротивление толщина пленок пленки ITO оптическое пропускание магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822 |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11920 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 74paper011822.pdf | 278.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.