Title: Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах
Authors: Гончаров Е. В.
Саенко А. В.
Малюков С. П.
Палий А. В.
Keywords: тонкие электропроводящие пленки
удельное сопротивление
толщина пленок
пленки ITO
оптическое пропускание
магнетронное распыление
Issue Date: 2021
Citation: Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11920
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
74paper011822.pdf278.1 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.