Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гончаров Е. В. | |
| dc.contributor.author | Саенко А. В. | |
| dc.contributor.author | Малюков С. П. | |
| dc.contributor.author | Палий А. В. | |
| dc.coverage.spatial | тонкие электропроводящие пленки | |
| dc.coverage.spatial | удельное сопротивление | |
| dc.coverage.spatial | толщина пленок | |
| dc.coverage.spatial | пленки ITO | |
| dc.coverage.spatial | оптическое пропускание | |
| dc.coverage.spatial | магнетронное распыление | |
| dc.creator | Гончаров Е. В., Саенко А. В., Малюков С. П., Палий А. В. | |
| dc.date | 2021 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:19:52Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:19:52Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.identifier | RU\НТБ СГАУ\467183 | |
| dc.identifier.citation | Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822 | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11920 | - |
| dc.language | rus | |
| dc.relation.ispartof | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. | |
| dc.source | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника | |
| dc.subject | тонкие электропроводящие пленки | |
| dc.subject | удельное сопротивление | |
| dc.subject | толщина пленок | |
| dc.subject | пленки ITO | |
| dc.subject | оптическое пропускание | |
| dc.subject | магнетронное распыление | |
| dc.title | Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах | |
| dc.type | Text | |
| dc.citation.spage | 011822 | |
| dc.citation.volume | 1 | |
| local.contributor.author | Гончаров Е. В. | |
| local.contributor.author | Саенко А. В. | |
| local.contributor.author | Малюков С. П. | |
| local.contributor.author | Палий А. В. | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Formirovanie-tonkih-plenok-ITO-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-dlya-primeneniya-v-solnechnyh-elementah-91490 | |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии | |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 74paper011822.pdf | 278.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.