Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГончаров Е. В.
dc.contributor.authorСаенко А. В.
dc.contributor.authorМалюков С. П.
dc.contributor.authorПалий А. В.
dc.coverage.spatialтонкие электропроводящие пленки
dc.coverage.spatialудельное сопротивление
dc.coverage.spatialтолщина пленок
dc.coverage.spatialпленки ITO
dc.coverage.spatialоптическое пропускание
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.creatorГончаров Е. В., Саенко А. В., Малюков С. П., Палий А. В.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-08-22T12:19:52Z-
dc.date.available2025-08-22T12:19:52Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\467183
dc.identifier.citationФормирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11920-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.].
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника
dc.subjectтонкие электропроводящие пленки
dc.subjectудельное сопротивление
dc.subjectтолщина пленок
dc.subjectпленки ITO
dc.subjectоптическое пропускание
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.titleФормирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах
dc.typeText
dc.citation.spage011822
dc.citation.volume1
local.contributor.authorГончаров Е. В.
local.contributor.authorСаенко А. В.
local.contributor.authorМалюков С. П.
local.contributor.authorПалий А. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Formirovanie-tonkih-plenok-ITO-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-dlya-primeneniya-v-solnechnyh-elementah-91490
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
74paper011822.pdf278.1 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.