Title: Особенности применения рентгеновской рефлектометрии для определения пористости структур пористого кремния
Authors: Леньшин А. С.
Пешков Я. А.
Канныкин С. В.
Юраков Ю. А.
Keywords: пористый кремний
рентгеновская рефлектометрия
расчет пористости
наноструктуры
нанофотоника
Issue Date: 2021
Citation: Особенности применения рентгеновской рефлектометрии для определения пористости структур пористого кремния. - Текст : электронный / А. С. Леньшин, Я. А. Пешков, С. В. Канныкин, Ю. А. Юраков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011892
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11917
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
75paper011892.pdf432.4 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.