| Title: | Особенности применения рентгеновской рефлектометрии для определения пористости структур пористого кремния |
| Authors: | Леньшин А. С. Пешков Я. А. Канныкин С. В. Юраков Ю. А. |
| Keywords: | пористый кремний рентгеновская рефлектометрия расчет пористости наноструктуры нанофотоника |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Особенности применения рентгеновской рефлектометрии для определения пористости структур пористого кремния. - Текст : электронный / А. С. Леньшин, Я. А. Пешков, С. В. Канныкин, Ю. А. Юраков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011892 |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11917 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 75paper011892.pdf | 432.4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.