Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Трибометрическое устройство экспресс-контроля чистоты поверхности подложек |
| Authors: | Ивлиев, Н.А. Колпаков, В.А. Лукичев, Д.С. |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Издательство СГАУ |
| Citation: | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 204-209 |
| Abstract: | Представлено трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации органических загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 5·10^-10 – 10^-7 г/см2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11722 |
| ISBN: | 978-5-7883-1078-7 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 204-209.pdf | Основная статья | 562.61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.