Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ивлиев, Н.А. | |
| dc.contributor.author | Колпаков, В.А. | |
| dc.contributor.author | Лукичев, Д.С. | |
| dc.date | 2016 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:19:50Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:19:50Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.identifier | Dspace\SGAU\20161208\60645 | |
| dc.identifier.citation | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 204-209 | |
| dc.identifier.isbn | 978-5-7883-1078-7 | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11722 | - |
| dc.description.abstract | Представлено трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации органических загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 5·10^-10 – 10^-7 г/см2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями. | |
| dc.language | rus | |
| dc.publisher | Издательство СГАУ | |
| dc.title | Трибометрическое устройство экспресс-контроля чистоты поверхности подложек | |
| dc.type | Article | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645 | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645 | |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 204-209.pdf | Основная статья | 562.61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.