Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorИвлиев, Н.А.
dc.contributor.authorКолпаков, В.А.
dc.contributor.authorЛукичев, Д.С.
dc.date2016
dc.date.accessioned2025-08-22T12:19:50Z-
dc.date.available2025-08-22T12:19:50Z-
dc.date.issued2016
dc.identifier.identifierDspace\SGAU\20161208\60645
dc.identifier.citationМатериалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 204-209
dc.identifier.isbn978-5-7883-1078-7
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11722-
dc.description.abstractПредставлено трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации органических загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 5·10^-10 – 10^-7 г/см2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями.
dc.languagerus
dc.publisherИздательство СГАУ
dc.titleТрибометрическое устройство экспресс-контроля чистоты поверхности подложек
dc.typeArticle
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
204-209.pdfОсновная статья562.61 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.