Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка способа напыления многокомпонентных материалов при изготовлении ДОЭ |
| Authors: | Фомченков, С.А. Скиданов, Р.В. |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Издательство СГАУ |
| Citation: | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 158-161 |
| Abstract: | Предложена конструкция квазизамкнутого испарителя многокомпонентных материалов высокую однородность напыляемых пленок. Термическим испарением в вакууме были получены пленки халькогенидов. Проведены исследования однородности физических свойств и равномерности пленок по толщине. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11156 |
| ISBN: | 978-5-7883-1078-7 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 158-161.pdf | Основная статья | 322.59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.