Разработка способа напыления многокомпонентных материалов при изготовлении ДОЭ

Фомченков, С.А.; Скиданов, Р.В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Фомченков, С.А.
dc.contributor.author	Скиданов, Р.В.
dc.date	2016
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:19:46Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:19:46Z	-
dc.date.issued	2016
dc.identifier.identifier	Dspace\SGAU\20161208\60637
dc.identifier.citation	Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 158-161
dc.identifier.isbn	978-5-7883-1078-7
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11156	-
dc.description.abstract	Предложена конструкция квазизамкнутого испарителя многокомпонентных материалов высокую однородность напыляемых пленок. Термическим испарением в вакууме были получены пленки халькогенидов. Проведены исследования однородности физических свойств и равномерности пленок по толщине.
dc.language	rus
dc.publisher	Издательство СГАУ
dc.title	Разработка способа напыления многокомпонентных материалов при изготовлении ДОЭ
dc.type	Article
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-sposoba-napyleniya-mnogokomponentnyh-materialov-pri-izgotovlenii-DOE-60637
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-sposoba-napyleniya-mnogokomponentnyh-materialov-pri-izgotovlenii-DOE-60637
Appears in Collections:	Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
158-161.pdf	Основная статья	322.59 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

Samara University Repository

Welcome!