Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Королевские чтения

Title:	Исследование механизмов влияния на свойства поверхности подложек технологических факторов в вакуумной системе
Authors:	Карпин А. Н. Мякиньков С. С. Кричевский С. В.
Keywords:	вакуумные системы поверхности подложек ситалловые подложки чистота поверхности подложек трибометрические устройства
Issue Date:	1997
Citation:	Карпин, А. Н. Исследование механизмов влияния на свойства поверхности подложек технологических факторов в вакуумной системе / А. Н. Карпин, С. С. Мякиньков ; науч. руководитель С. В. Кричевский // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 44.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10166
Appears in Collections:	Королевские чтения

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.