1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКарпин А. Н.
dc.contributor.authorМякиньков С. С.
dc.contributor.authorКричевский С. В.
dc.coverage.spatialвакуумные системы
dc.coverage.spatialповерхности подложек
dc.coverage.spatialситалловые подложки
dc.coverage.spatialчистота поверхности подложек
dc.coverage.spatialтрибометрические устройства
dc.creatorКарпин А. Н., Мякиньков С. С.
dc.date1997
dc.date.accessioned2025-08-22T12:12:48Z-
dc.date.available2025-08-22T12:12:48Z-
dc.date.issued1997
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\560987
dc.identifier.citationКарпин, А. Н. Исследование механизмов влияния на свойства поверхности подложек технологических факторов в вакуумной системе / А. Н. Карпин, С. С. Мякиньков ; науч. руководитель С. В. Кричевский // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 44.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10166-
dc.languagerus
dc.sourceКоролевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. - Текст : электронный
dc.subjectвакуумные системы
dc.subjectповерхности подложек
dc.subjectситалловые подложки
dc.subjectчистота поверхности подложек
dc.subjectтрибометрические устройства
dc.titleИсследование механизмов влияния на свойства поверхности подложек технологических факторов в вакуумной системе
dc.typeText
dc.citation.spage44
local.contributor.authorКарпин А. Н.
local.contributor.authorМякиньков С. С.
local.contributor.authorКричевский С. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Issledovanie-mehanizmov-vliyaniya-na-svoistva-poverhnosti-podlozhek-tehnologicheskih-faktorov-v-vakuumnoi-sisteme-111510
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Issledovanie-mehanizmov-vliyaniya-na-svoistva-poverhnosti-podlozhek-tehnologicheskih-faktorov-v-vakuumnoi-sisteme-111510
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр._1997-44.pdf70.11 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.