Title: Физико-математическая модель трибометрического метода экспресс-контроля чистоты поверхности подложек
Authors: Шкарян В. Г.
Колпаков А. И.
Keywords: диэлектрические подложки
экспресс-контроль чистоты
чистота поверхности подложек
трибометрический прибор контроля чистоты поверхности
физико-математические модели
Issue Date: 1997
Citation: Шкарян, В. Г. Физико-математическая модель трибометрического метода экспресс-контроля чистоты поверхности подложек / В. Г. Шкарян ; науч. руководитель А. И. Колпаков // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 44.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10164
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр._1997-44.pdf70.11 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.