Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШкарян В. Г.
dc.contributor.authorКолпаков А. И.
dc.coverage.spatialдиэлектрические подложки
dc.coverage.spatialэкспресс-контроль чистоты
dc.coverage.spatialчистота поверхности подложек
dc.coverage.spatialтрибометрический прибор контроля чистоты поверхности
dc.coverage.spatialфизико-математические модели
dc.creatorШкарян В. Г.
dc.date1997
dc.date.accessioned2025-08-22T12:12:48Z-
dc.date.available2025-08-22T12:12:48Z-
dc.date.issued1997
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\560985
dc.identifier.citationШкарян, В. Г. Физико-математическая модель трибометрического метода экспресс-контроля чистоты поверхности подложек / В. Г. Шкарян ; науч. руководитель А. И. Колпаков // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 44.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10164-
dc.languagerus
dc.sourceКоролевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. - Текст : электронный
dc.subjectдиэлектрические подложки
dc.subjectэкспресс-контроль чистоты
dc.subjectчистота поверхности подложек
dc.subjectтрибометрический прибор контроля чистоты поверхности
dc.subjectфизико-математические модели
dc.titleФизико-математическая модель трибометрического метода экспресс-контроля чистоты поверхности подложек
dc.typeText
dc.citation.spage44
local.contributor.authorШкарян В. Г.
local.contributor.authorКолпаков А. И.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Fizikomatematicheskaya-model-tribometricheskogo-metoda-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-111508
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Fizikomatematicheskaya-model-tribometricheskogo-metoda-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-111508
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр._1997-44.pdf70.11 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.