| Title: | Физико-математическая модель трибометрического метода экспресс-контроля чистоты поверхности подложек |
| Authors: | Шкарян В. Г. Колпаков А. И. |
| Keywords: | диэлектрические подложки экспресс-контроль чистоты чистота поверхности подложек трибометрический прибор контроля чистоты поверхности физико-математические модели |
| Issue Date: | 1997 |
| Citation: | Шкарян, В. Г. Физико-математическая модель трибометрического метода экспресс-контроля чистоты поверхности подложек / В. Г. Шкарян ; науч. руководитель А. И. Колпаков // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 44. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10164 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр._1997-44.pdf | 70.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.