Browsing by Author Пунин К. В.
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2017 | Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины | Пунин К. В.; Володкин Б. О.; Братченко И. А. |
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2017 | Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины | Пунин К. В.; Володкин Б. О.; Братченко И. А. |