Browsing by Author Ондырбаев Н. М.
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2018 | Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния | Ондырбаев Н. М.; Колпаков В. А.; Ивлиев Н. А. |