Browsing by Author Красавина Е. И.
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2017 | Оптимизация технологии электронной литографии для изготовления шаблона на основе металлических пленок | Красавина Е. И.; Тукмаков К. Н.; Лофицкий И. В. |