Browsing by Author Васильева Э. М.
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2017 | Оптимизация технологии электронной литографии для изготовления трехмерных структур в объеме полиметилметакрилата | Васильева Э. М.; Тукмаков К. Н.; Лофицкий И. В. |