Title: Моделирование на ПЭВМ процесса ионного распыления материалов
Authors: Константинов И. А.
Меркулов А. И.
Keywords: ионное распыление
метод ионного распыления
нанесение тонких пленок
моделирование процесса ионного распыления
Issue Date: 1995
Citation: Константинов, И. А. Моделирование на ПЭВМ процесса ионного распыления материалов / И. А. Константинов ; науч. руководитель А. И. Меркулов // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 114.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/9815
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-114.pdf37.82 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.