| Title: | Моделирование на ПЭВМ процесса ионного распыления материалов |
| Authors: | Константинов И. А. Меркулов А. И. |
| Keywords: | ионное распыление метод ионного распыления нанесение тонких пленок моделирование процесса ионного распыления |
| Issue Date: | 1995 |
| Citation: | Константинов, И. А. Моделирование на ПЭВМ процесса ионного распыления материалов / И. А. Константинов ; науч. руководитель А. И. Меркулов // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 114. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/9815 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-114.pdf | 37.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.