Title: Разработка методов изготовления дифракционных оптических элементов на полимерных материалах в направленных потоках низкотемпературной плазмы
Authors: Паранин В. Д.
Колпаков В. А.
Keywords: аналитические методы расчета
формирование прецизионного микрорельефа
инновационные научные разработки
качество изготовления
дифракционные оптические элементы
молодежные научно-инновационные проекты
низкотемпературная плазма
параметры технологических процессов
полимерные материалы
плазменное травление
Issue Date: 2007
Citation: Паранин, В. Д. Разработка методов изготовления дифракционных оптических элементов на полимерных материалах в направленных потоках низкотемпературной плазмы / В. Д. Паранин, В. А. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 303.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/8533
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0531-8_2007-303.pdf55.97 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.