1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМокеев Д. А.
dc.contributor.authorКолпаков А. И.
dc.coverage.spatialоблучение ионно-электронным потоком
dc.coverage.spatialгазовые разряды высоковольтного типа
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы
dc.coverage.spatialмеханизм диффузии атомов кремния
dc.coverage.spatialкремниевые подложки
dc.coverage.spatialформирование каталитической маски
dc.coverage.spatialтехнологические процессы
dc.coverage.spatialсистема жидкий алюминий - кремний
dc.creatorМокеев Д. А., Колпаков А. И.
dc.date2007
dc.date.accessioned2025-08-22T12:14:32Z-
dc.date.available2025-08-22T12:14:32Z-
dc.date.issued2007
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\480348
dc.identifier.citationМокеев, Д. А. Исследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы / Д. А. Мокеев, А. И. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 200.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/8443-
dc.languagerus
dc.sourceIX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. - Текст : электронный
dc.subjectоблучение ионно-электронным потоком
dc.subjectгазовые разряды высоковольтного типа
dc.subjectдифракционные оптические элементы
dc.subjectмеханизм диффузии атомов кремния
dc.subjectкремниевые подложки
dc.subjectформирование каталитической маски
dc.subjectтехнологические процессы
dc.subjectсистема жидкий алюминий - кремний
dc.titleИсследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы
dc.typeText
dc.citation.spage200
local.contributor.authorМокеев Д. А.
local.contributor.authorКолпаков А. И.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Issledovanie-mehanizma-diffuzii-atomov-kremniya-v-zhidkoi-faze-aluminiya-pri-obluchenii-struktury-AlSi-napravlennym-potokom-nizkotemperaturnoi-plazmy-97217
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0531-8_2007-200.pdf56.75 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.