Title: Особенности механизма взаимодействия двух подложек в трибометрическом устройстве контроля чистоты их поверхности
Authors: Ивлиев Н. А.
Колпаков В. А.
Keywords: диэлектрические подложки
микроэлектроника
коэффициент трения скольжения
контроль чистоты поверхности
методы трибометрии
трибометрические устройства
трибометрическое взаимодействие подложек
Issue Date: 2007
Citation: Ивлиев, Н. А. Особенности механизма взаимодействия двух подложек в трибометрическом устройстве контроля чистоты их поверхности / Н. А. Ивлиев, В. А. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 197.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/8416
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0531-8_2007-197.pdf52.89 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.