Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Королевские чтения

Title:	Исследование корелляции параметров кристалла и режимов процесса разрезания полупроводниковых стержней на пластины
Authors:	Рогова А. С. Колпаков А. И.
Keywords:	разрезание на пластины разрезание полупроводниковых стержней алмазоподобные полупроводники физико-математические модели корреляция параметров кристалла кристаллографические параметры поверхности пластины кристаллы пластины кремния КЭФ-32 параметры кристаллов
Issue Date:	2005
Citation:	Рогова, А. С. Исследование корелляции параметров кристалла и режимов процесса разрезания полупроводниковых стержней на пластины / А. С. Рогова ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 260.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7902
Appears in Collections:	Королевские чтения

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.