1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАбдулхаликова К. К.
dc.coverage.spatialкремниевые подложки
dc.coverage.spatialочистка подложек
dc.coverage.spatialсканирующая микроскопия
dc.coverage.spatialэлектронная микроскопия
dc.coverage.spatialчистота поверхности
dc.creatorАбдулхаликова К. К.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-08-22T12:12:37Z-
dc.date.available2025-08-22T12:12:37Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\430448
dc.identifier.citationАбдулхаликова, К. К. Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки / К. К. Абдулхаликова // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 380-381
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7199-
dc.relation.ispartofXV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201
dc.sourceXV Королевские чтения. - Т. 1
dc.subjectкремниевые подложки
dc.subjectочистка подложек
dc.subjectсканирующая микроскопия
dc.subjectэлектронная микроскопия
dc.subjectчистота поверхности
dc.titleСканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки
dc.typeText
dc.citation.epage381
dc.citation.spage380
dc.citation.volume1
local.contributor.authorАбдулхаликова К. К.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Ckaniruushaya-elektronnaya-mikroskopiya-v-tehnologii-ochistki-kremnievyh-podlozhki-79798
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
XV Королевские чтения 2019 Том 1-380-381.pdf625.05 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.