Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАбдулхаликова К. К.
dc.coverage.spatialкремниевые подложки
dc.coverage.spatialочистка подложек
dc.coverage.spatialсканирующая микроскопия
dc.coverage.spatialэлектронная микроскопия
dc.coverage.spatialчистота поверхности
dc.creatorАбдулхаликова К. К.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-08-22T12:12:37Z-
dc.date.available2025-08-22T12:12:37Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\430448
dc.identifier.citationАбдулхаликова, К. К. Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки / К. К. Абдулхаликова // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 380-381
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7199-
dc.relation.ispartofXV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201
dc.sourceXV Королевские чтения. - Т. 1
dc.subjectкремниевые подложки
dc.subjectочистка подложек
dc.subjectсканирующая микроскопия
dc.subjectэлектронная микроскопия
dc.subjectчистота поверхности
dc.titleСканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки
dc.typeText
dc.citation.epage381
dc.citation.spage380
dc.citation.volume1
local.contributor.authorАбдулхаликова К. К.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Ckaniruushaya-elektronnaya-mikroskopiya-v-tehnologii-ochistki-kremnievyh-podlozhki-79798
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
XV Королевские чтения 2019 Том 1-380-381.pdf625.05 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.