Title: Математическое моделирование взаимодействия высокочастотного факельного разряда с толстой резистивной пленкой
Authors: Пиганов М. Н.
Столбиков А. В.
Keywords: подложки
высокочастотный факельный разряд (ВЧФР)
взаимодействия
математическое моделирование
метод факельного разряда
толстая резистивная пленка
технологические параметры
Issue Date: 2004
Citation: Пиганов, М. Н. Математическое моделирование взаимодействия высокочастотного факельного разряда с толстой резистивной пленкой. - Текст : электронный / М. Н. Пиганов, А. В. Столбиков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 81-88
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6698
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-81-88.pdf296.17 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.