Title: Метод изготовления микрофлюидных устройств на стеклянных подложках
Authors: Агафонов А. Н.
Горовенко Т. А.
Keywords: оптика
микромеханика
микротехнология
микрофлюидные системы
гидравлика
глубокое жидкостное травление
интегрированные устройства
соединения стеклянных подложек
стеклянные подложки
Issue Date: 2016
Citation: Агафонов, А. Н. Метод изготовления микрофлюидных устройств на стеклянных подложках / А. Н. Агафонов, Т. А. Горовенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 158-160.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6638
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
158-160.pdfОсновная статья341.09 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.