| Title: | Метод изготовления микрофлюидных устройств на стеклянных подложках |
| Authors: | Агафонов А. Н. Горовенко Т. А. |
| Keywords: | оптика микромеханика микротехнология микрофлюидные системы гидравлика глубокое жидкостное травление интегрированные устройства соединения стеклянных подложек стеклянные подложки |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Агафонов, А. Н. Метод изготовления микрофлюидных устройств на стеклянных подложках / А. Н. Агафонов, Т. А. Горовенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 158-160. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6638 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 158-160.pdf | Основная статья | 341.09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.