Title: Устройство формирования внеэлектродной плазмы высоковольтного газового разряда
Authors: Колпаков В. А.
Колпаков А. И.
Кричевский С. В.
Keywords: формирование внеэлектродной плазмы
электродная система
обработка поверхности подложек
поток газоразрядной плазмы
защита от пробоя
высоковольтный газовый разряд
Issue Date: 2012
Citation: Колпаков, В. А. Устройство формирования внеэлектродной плазмы высоковольтного газового разряда / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 15-17 мая 2012 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; [под ред. М. Н. Пиганова]. - 2012. - С. 303-306
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6557
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Актуальные проблемы 2012-303-306.pdf111.89 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.