| Title: | Устройство формирования внеэлектродной плазмы высоковольтного газового разряда |
| Authors: | Колпаков В. А. Колпаков А. И. Кричевский С. В. |
| Keywords: | формирование внеэлектродной плазмы электродная система обработка поверхности подложек поток газоразрядной плазмы защита от пробоя высоковольтный газовый разряд |
| Issue Date: | 2012 |
| Citation: | Колпаков, В. А. Устройство формирования внеэлектродной плазмы высоковольтного газового разряда / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 15-17 мая 2012 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; [под ред. М. Н. Пиганова]. - 2012. - С. 303-306 |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6557 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Актуальные проблемы 2012-303-306.pdf | 111.89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.