| Title: | Разработка, изготовление и исследование симметрично-разделенного гироскопа в МЭМС-исполнении |
| Authors: | Павельев В. С. Володкин Б. О. Тукмаков К. Н. Решетников А. С. Андреева Т. В. Фомченков С. А. Хонина С. Н. |
| Keywords: | инерциальные гироскопы SOI-процесс виброгироскопы в МЭМС-исполнении МЭМС технология ускорение Кориолиса симметрично-разделенные гироскопы технологии DRIE тактические гироскопы скоростные гироскопы |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Разработка, изготовление и исследование симметрично-разделенного гироскопа в МЭМС-исполнении / П. Верма, В. С. Павельев, Б. О. Володкин, К. Н. Тукмаков, А. С. Решетников, Т. В. Андреева, С. А. Фомченков, С. Н. Хонина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 154-157. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6472 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 154-157.pdf | Основная статья | 255.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.