Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Title:	Многолучевой генератор плазмы для изготовления сплавных контактов полупроводниковых диодов
Authors:	Колпаков В. А. Кричевский С. В. Маркушин М. А. Кашапова Е. С. Струкель Ю. С.
Keywords:	многолучевой генератор плазмы полупроводниковые приборы полупроводниковые диоды низкотемпературная плазма генератор газоразрядной плазмы кассеты для сплавления элементов сплавные контакты
Issue Date:	2016
Citation:	Многолучевой генератор плазмы для изготовления сплавных контактов полупроводниковых диодов / В. А. Колпаков, С. В. Кричевский, М. А. Маркушин, Е. С. Кашапова, Ю. С. Струкель // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 148-150.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6461
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.