1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Исследование испарителя многокомпонентных материалов
Authors: Стариков И. В.
Колпаков В. А.
Кричевский С. В.
Подлипнов В. В.
Keywords: формирование тонкопленочных элементов
наноэлектроника
нанофотоника
испарители
испаритель резистивного типа
микроэлектроника
многокомпонентные материалы
Issue Date: 2017
Citation: Исследование испарителя многокомпонентных материалов / И. В. Стариков, В. А. Колпаков, С. В. Кричевский, В. В. Подлипнов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2017 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2017. - С. 175-179.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6424
ISBN: 978-5-473-01143-2
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
175-179.pdfИсследование испарителя многокомпонентных материалов372.44 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.