Title: Устройство для исследования электрофизических параметров широкоформатных потоков низкотемпературной плазмы
Authors: Колпаков В. А.
Колпаков А. И.
Кричевский С. В.
Бозриков В. С.
Keywords: электрофизические параметры
микроэлектроника
наноэлектроника
низкотемпературная плазма
дифракционная оптика
широкоформатные структуры
широкоформатный поток
Issue Date: 2011
Citation: Устройство для исследования электрофизических параметров широкоформатных потоков низкотемпературной плазмы / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский, В. С. Бозриков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 10-12 мая 2011 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; [под ред. М. Н. Пиганова]. - 2011. - С. 233-234
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6258
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Актуальные проблемы 2011-233-234.pdf66.62 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.