Расчет параметров модели Дила-Гроува окисления кремния

Айзикович А. А.; Демаков Ю. П.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Айзикович А. А.
dc.contributor.author	Демаков Ю. П.
dc.coverage.spatial	окисление кремния
dc.coverage.spatial	окисление полупроводников
dc.coverage.spatial	окисная пленка
dc.coverage.spatial	модель Дила-Гроува
dc.coverage.spatial	кремниевые интегральные схемы
dc.creator	Айзикович А. А., Демаков Ю. П.
dc.date	2011
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:45Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:45Z	-
dc.date.issued	2011
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\431581
dc.identifier.citation	Айзикович, А. А. Расчет параметров модели Дила-Гроува окисления кремния / А. А. Айзикович, Ю. П. Демаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 10-12 мая 2011 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; [под ред. М. Н. Пиганова]. - 2011. - С. 72-77
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6234	-
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 10-12 мая 2011 г.
dc.subject	окисление кремния
dc.subject	окисление полупроводников
dc.subject	окисная пленка
dc.subject	модель Дила-Гроува
dc.subject	кремниевые интегральные схемы
dc.title	Расчет параметров модели Дила-Гроува окисления кремния
dc.type	Text
dc.citation.epage	77
dc.citation.spage	72
local.contributor.author	Айзикович А. А.
local.contributor.author	Демаков Ю. П.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Raschet-parametrov-modeli-DilaGrouva-okisleniya-kremniya-80919
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Raschet-parametrov-modeli-DilaGrouva-okisleniya-kremniya-80919
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Size	Format
Актуальные проблемы 2011-72-77.pdf	136.71 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record