1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorArslanov A.ru
dc.contributor.authorBotirova N.ru
dc.contributor.authorEshonkulov G.ru
dc.contributor.authorMurodov J.ru
dc.contributor.authorNusretov R.ru
dc.contributor.authorYuldashev Sh.ru
dc.date.accessioned2026-01-23T11:29:00Z-
dc.date.available2026-01-23T11:29:00Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\582104ru
dc.identifier.citationEngineering β-Ga2O3 Thin Films: The Role of Substrate in Sol-gel Spin-coating Growth / N. Botirova, Sh. Yuldashev, G. Eshonkulov, A. Arslanov, J. Murodov, R. Nusretov // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2025) : материалы XI междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самарканд, Узбекистан, 7-9 окт. 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 062182.ru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.abstractGallium oxide (P-Ga2O3) is an emerging ultra-wide band gap semiconductor with potential applications in high-power electronics, optoelectronics, and sensi g devices. The properties of p-Ga2O3 films are significantly influenced by the choice of substrate, which affects the crystalline structure, morphology, electrical characteristics, and over all film quality.ru
dc.description.firstpage062182ru
dc.format.extentru
dc.format.mimetypeTextru
dc.language.isorusru
dc.publisherPublisherru
dc.rightsLicenseru
dc.sourceSourceru
dc.textpart-
dc.subjectsol-gel methodru
dc.subjectthermal annealingru
dc.subjectβ-Ga2O3ru
dc.subjectзоль-гель методru
dc.subjectоксид галлияru
dc.subjectтермический отжигru
dc.subject.rubbkru
dc.subject.rugasntiru
dc.subject.udcru
dc.titleEngineering β-Ga2O3 Thin Films: The Role of Substrate in Sol-gel Spin-coating Growthru
dc.title.alternativeru
dc.typeType Textru
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2262-9_2025-388-389.pdf113.23 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.