Исследование дефектной структуры кремния, легированного диспрозием, с использованием рентгенофазового анализа и спектроскопии Рамана

Abstract

В данной работе исследуется влияние легирования кремния диспрозием (Dy) на его структурные и оптические характеристики . Кремний n-Si был легирован диспрозием методом термодиффузи и при температуре 1473 K в течение 50 часов . Для анализа использовалисьь Раман-спектроскопия и рентгенофазовый анализ. Результаты Раман-спектроскопии показали основной пик на 523 , 93 см, соответствующий оптическим фононам n-S i, с увеличением интенсивности и ширины на полувысоте (FWHM) у образцов n- Si< Dy>, что свидетельствует об улучшении кристалличности структуры . Уменьшение интенсивности пиков на 127, 16 см и 196, 24 см, связанных саморфные фазы, подтверждает снижение дефектов. Обнаружение нового пика при 307,94 см 1 указывает на успешное осаждение диспрозия в виде кристаллитов, связанное с фононной модой 2ТА в кубической фазе Dy 2O3.