1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Устройство контроля чистоты поверхности твердого тела методом конденсации
Authors: Ерофеев А. В.
Зубков А. О.
Кричевский С. В.
Keywords: приборы контроля
метод конденсации
подложки
измерение чистоты поверхности
Issue Date: 2010
Citation: Ерофеев, А. В. Устройство контроля чистоты поверхности твердого тела методом конденсации / А. В. Ерофеев, А. О. Зубков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 25-27 мая 2010 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2010. - С. 33-34.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5944
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0819-7_2010-33-34.pdf87.91 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.