| Title: | Трибометрический метод оценки степени чистоты поверхности диэлектрических подложек |
| Authors: | Кричевский С. В. Ивлиев Н. А. |
| Keywords: | атомарные загрязнения диэлектрические подложки калибровка измерений чистоты контроль чистоты коэффициент трения методы трибометрии оценка степени чистоты трибометрическое устройство |
| Issue Date: | 2009 |
| Citation: | Кричевский, С. В. Трибометрический метод оценки степени чистоты поверхности диэлектрических подложек / С. В. Кричевский, Н. А. Ивлиев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 185-187. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5893 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-0672-8_2009-185-187.pdf | 146.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.