Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКазанский Н. Л.
dc.contributor.authorКолпаков В. А.
dc.contributor.authorКолпаков А. И.
dc.contributor.authorКричевский С. В.
dc.contributor.authorИвлиев Н. А.
dc.coverage.spatialтрибометрический метод
dc.coverage.spatialизмерение чистоты поверхности
dc.coverage.spatialдиэлектрические подложки
dc.creatorКазанский Н. Л., Колпаков В. А., Колпаков А. И., Кричевский С. В., Ивлиев Н. А.
dc.date2007
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:35Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:35Z-
dc.date.issued2007
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\533997
dc.identifier.citationИсследование особенностей механизма трибометрического взаимодействия диэлектрических подложек при проведении процесса измерения чистоты поверхности / Н. Л. Казанский, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков [и др.] // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 34-35.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5875-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г.
dc.subjectтрибометрический метод
dc.subjectизмерение чистоты поверхности
dc.subjectдиэлектрические подложки
dc.titleИсследование особенностей механизма трибометрического взаимодействия диэлектрических подложек при проведении процесса измерения чистоты поверхности
dc.typeText
dc.citation.epage35
dc.citation.spage34
local.contributor.authorКазанский Н. Л.
local.contributor.authorКолпаков В. А.
local.contributor.authorКолпаков А. И.
local.contributor.authorКричевский С. В.
local.contributor.authorИвлиев Н. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-osobennostei-mehanizma-tribometricheskogo-vzaimodeistviya-dielektricheskih-podlozhek-pri-provedenii-processa-izmereniya-chistoty-poverhnosti-103664
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-34-35.pdf55.51 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.