Разновидности систем плазменного травления и их особенности

Волков А. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Волков А. В.
dc.coverage.spatial	плазменое травление
dc.creator	Волков А. В.
dc.date	2013
dc.date.accessioned	2025-11-28T06:00:25Z	-
dc.date.available	2025-11-28T06:00:25Z	-
dc.date.issued	2013
dc.identifier.identifier	RU/НТБ СГАУ/WALL/621.792/В 676-766894
dc.identifier.citation	Волков, А. В. Разновидности систем плазменного травления и их особенности [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособие / А. В. Волков ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) (СГАУ). - Самара, 2013. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/58662	-
dc.description.abstract	Труды сотрудников СГАУ(электрон. версия).
dc.description.abstract	Рассмотрены вопросы исследования и выбора технологических режимов плазменного ионно-химического травления при использовании установки “Caroline PE15”. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для подготовки магистров направления 010900.68 «Пр
dc.description.abstract	Используемые программы: Adobe Acrobat.
dc.language	rus
dc.relation.isformatof	Разновидности систем плазменного травления и их особенности [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособие
dc.subject	плазменое травление
dc.subject.rugasnti	55.03
dc.subject.udc	621.792(075)
dc.title	Разновидности систем плазменного травления и их особенности
dc.type	Text
local.contributor.author	Министерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет) (СГАУ)
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Uchebnye-posobiya/Raznovidnosti-sistem-plazmennogo-travleniya-i-ih-osobennosti-Elektronnyi-resurs-elektron-uchebmetod-posobie-55241
Appears in Collections:	Учебные издания

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Волков А.В. Разновидности систем.pdf	from 1C	298.8 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record