| Title: | Оборудование и методы контроля микрорельефа дифракционных оптических элементов |
| Authors: | Волков А. В. Саноян А. Г. Бородин С. А. Агафонов А. Н. |
| Keywords: | технологический контроль структура конструкционных материалов степень чистоты диэлектрических оснований ДОЭ геомерические характеристики микрорельефа ДОЭ дискретизация дифракционная оптика дифракционные оптические элементы квантование контроль метод растровой электронной микроскопии методы контроля микрорельеф ДОЭ операции подготовка поверхности подложки покрытия растровый электронный микроскоп создание микрорельефа ДОЭ сканирующий зондовый микроскоп технология формирования фазового микрорельефа |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | [Изд-во СГАУ] |
| Citation: | Оборудование и методы контроля микрорельефа дифракционных оптических элементов [Электронный ресурс] : [учеб. пособие / А. В. Волков и др.] ; Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева. - Самара : [Изд-во СГАУ], 2007. - on-line. - ISBN = 978-5-7883-0627-8 |
| Abstract: | Используемые программы: Adobe Acrobat Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/56533 |
| ISBN: | 978-5-7883-0627-8 |
| Appears in Collections: | Учебные издания |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Волков А.В. Оборудование и методы.pdf | from 1C | 16.71 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.